1.测试晶圆 5～8 英寸；2.误差 -2～2um；3. OTS 光学自动对准；4.可编程自动测试

该设备用于自动集成电路测试，5-8 英寸晶圆测试，采用 OTS 光学自动 对准，提供优异的移动精度，操作方便灵活，提供 inklessmap、multisite 测试。设备配合 HP82000 集成电路测试系统，进行器件的中测。

集成电路；电子器件；

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