1. 温度范围：-85℃~+225℃；2. 最小显示温度：0.1℃；3. 温度精度：±1℃；4. 压空流量：9l/s(18scfm)；5. 温度转化率:-55°~+125°C:≤7 秒；+125°~-55°C:≤13 秒；

设备用于为集成电路温度试验中提供测试环境，可作为恒温源使用，为 芯片的高低温环境下的测试提供精确的温度环境。设备具有温度范围广，温控精度高，可编程温度循环，变温快等优点。设备配合集成电路测试系统，可进行器件的成测、失效分析、故障分析和可靠性实验。

集成电路；电子器件；

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