1、二次电子像分辨率：≤1.0nm@15kV，≤1.8nm@1kV； 2、电子束加速电压：0.02kV-30kV； 3、放大倍率：12～1,000,000倍； 4、能量分辨率：MnKa保证优于127eV，元素分析范围不小于B5-C198。

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