Include: 主机包括： *Electron Gun: High Brightness Schottky Emitter 高亮度肖特基灯丝电子枪 *Chamber: Internal Dimesions 340mm（W)*315mm(D) 超大样品室：内部尺寸 340mm(宽）*315mm（深） *Motorized, 5-axis goniometer stage 5轴计算机控制优中心马达驱动样品台 *Column and chamber suspension type: active 镜筒和样品室减震类型: 主动式（内置） *Everhart-Thornley chamber detector (SE) 样品室内 Everhart-Thornley 式二次电子探测器 (SE) *In-column Energy-Filtered Multidetector (MD) 镜筒内可实现能量过滤的 Multidetector 探测器（MD） *In-column axial BSE/SE detector (Axial) 镜筒内可接收轴向BSE/SE 探测器（Axial） *pA meter including touch alarm function 皮安计，包含防碰撞报警功能 *Chamber view (IR) camera 用于观察样品室内部情况的红外摄像机 *Essence™ integrated plasma cleaner (Decontaminator) Essence™ 内置等离子清洗器 *Pump types: all oil-free 前置泵类型: 无油干泵+分子泵 Software(软件) *Computer System with Windows 10 Pro 64-bit 计算机软件系统为Windows 10 Pro 64-bit *TESCAN Essence™ SEM Software TESCAN Essence™ 电镜专用控制软件 *Image Process Software 图像处理软件 *Image Measurement，Tolerance Measurement Software 图像测量、公差测量软件 *Image Archiving Software 图像获取软件 *多语言电镜操作软件

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