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中红外椭偏仪

周 期
5天内
设 备
武汉颐光SE-Mapping、武汉颐光 SE-VM-L、J.A.Woollam IR-WAVE MARK
测试价格
面议

服务描述

椭偏仪 是一种用于探测薄膜厚度、折射率n、消光系数k以及材料微结构的光学测量仪器。测量精度高,适用于薄膜,与样品非接触,是一种无损测试方法。

测量范围:210nm-1700nm,1.7-33um。 样品尺寸8寸及以下

价格:mapping 1000/pcs ,价格500—900/pcs(5点以内),超过5点,加100/点。 红外波段1200/pcs

项目介绍

样品要求

需了解衬底材质大小,是否为透明衬底

如需测量nk,需了解薄膜的具体成分,了解需要测量的波长范围

如需测量膜厚,需了解表面膜层大致厚度,膜层为单层还是多层膜,膜层材质和大致折射率

结果展示

8英寸硅片表面膜层厚度分布mapping

石英衬底表面单层DLC膜厚度测试

9层调光膜,多层膜厚测试

硅衬底表面铌酸锂薄膜膜厚和nk测试

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