MBE外延片定制及硅基激光器制造

平台致力于硅光芯片领域，主要产品为异质外延片和光电子器件，包括硅基SiGe外延片，GaAs基外延片，硅基III-V族（GaAs和GaSb等）外延片及硅基光电子器件，且提供硅基光电子芯片集成相关方案和技术服务与成果转让。

主要产品：
1、硅基硅、锗、锗硅外延片 2、硅基砷化镓外延片 3、砷化铟量子点外延片 4、量子点激光器和光放大器 5、单片集成量子点激光器 6、......

晶圆级PL/深紫外发光光谱（PL）/CL测试服务

400

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AFM支持大尺寸

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MBE4英寸IV族/III-V族双腔体分子束外延系统

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国内唯一8英寸IV族/III-V族双腔体分子束外延系统

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晶圆清洗机

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硅基砷化镓外延片

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砷化镓基低密度砷化铟量子点外延片

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