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白光干涉三维轮廓仪

周 期
3-5个工作日
设 备
Phase shift MicroXAM、Bruke Contour X500
测试价格
900/h 或 300/区域/.

服务描述

设备一 相关信息

servers/1571826395.png

设备型号:Phase shift MicroXAM

厂家:MicroXAM-3D

技术参数:

垂直扫描范围:30 μm 100μm5mm10mm

垂直扫描分辨率:0.01nm

分辨率:752×480像素(可选1k×1k

侧向分辨率:0.11-8.8 μm

RMS重复精度:1nm

视场范围:8mm×10mm-0.084mm×0.063mm

校正精度:<<0.1%

反射要求:1%-100%

功能特色:粗糙度、磨损体积、2维/3维形貌


设备二 相关信息

设备型号:Bruke Contour X500

垂直分辨率:亚纳米级

水平分辨率:小于0.38μm

放大倍数:2.75-1000倍

项目介绍

利用白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检测的精密仪器

样品要求

暂无

结果展示

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