晶圆级光致荧光光谱测试-PLMapping

设备型号：NANOMETRICS RMAP BLUE/FS

设备参数：150 groove1250nm blaze光栅、600 groove. blaze 光栅、512 CCD 探测器400~1100nm、256 InGaAs 探测器900~2600nm测量精度：再现性：±15%；重复性：±7.5%初始激光波长为 532nm，共有三组激光波长 980nm、532nm和266nm可选择；PL mapping（针对 wafer 测试）光谱测量范围：300~1200nm

150 groove,1250nm blaze光栅、600 groove. blaze 光栅、512 CCD 探测器400~1100nm、256 InGaAs 探测器,900~2600nm测量精度：再现性：±15%；样品要求：2、3、4、6英寸晶圆

样品要求：2、3、4、6英寸晶圆