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服务描述
光学表面分析仪是针对SiC单晶片与外延片行业的表面缺陷的检查分析仪器。
测试内容：划痕（scratch），凹坑（pit），突起（bump），微管（micropipe），胡萝卜（carrot），三角形（triangle），Downfall，堆垛层错缺陷（Stacking Fault），基平面位错（BPD）、颗粒物（particle）等
项目介绍
外延层中，可能会出现一些与衬底有关的缺陷，如微管、位错、层错等。这些缺陷的产生通常与衬底的晶体质量有关。
样品要求
可检尺寸：4寸、6寸、8寸兼容，厚度范围300μm-800μm
可检材料：SiC、SiC外延
结果展示
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