（离子光学系统）分辨率：≤ 3 nm@30kV （电子光学系统）分辨率：≤ 0.7 nm @15 kV 气体源：☒C ☒Pt ☒Water ☒XeF2

无磁性，小尺寸  最大样品尺寸： 8英寸

☒EBSD ☒EDS ☒GIS ☒STEM ☒BSD

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