1.二次电子分辨率:0.7 nm(加速电压 15 kV);0.9 nm(着陆电压 1 kV)*22.加速电压:0.5~30 kV3.着陆电压:0.01~20 kV4.倍率:20~2,000,000倍*35.马达台控制 5轴自动
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