二次电子分辨率：0.9nm@15kV1.4nm@1kV 聚焦离子束：分辨率：< 2.5nm@30kV 探针电流：1pA - 100nA 放大倍率：2 × -2,000,000 ×TOF-SIMS：元素检测下限：5ppm 空间分辨率：水平方向40nm；垂直方向>3nm 质量数范围：1-2500Raman：激光波长：标配532nm、785激光器 共聚焦分辨率：XY方向360nm；Z方向2000nm 拉曼光谱范围：95-4000cm-1（532激光） 光谱分辨率：优于1.5cm-1 EDS：170mm²超大面积活区； 能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV；元素分析范围：Be4-Cf98 EBSD：在线最高解析标定速度优于3000点/秒； 最小工作电流100pA，最小工作电压5KV; 其他附件：纳米机械手、CL、STEM

干燥的样品，热稳定性良好，无放射性

面议