加速电压5kV-30kV，放大率：300×～500,000×；分辨率2nm；配备二次电子探头（SED），背散射电子探头（BSD），扫描透射电子探头（STEM），纳米机械手（OmniProbe），气相沉积系统（GIS）。 （离子光学系统）分辨率:10nm ; （电子光学系统）分辨率:1nm; （离子光学系统）发射源:镓液态金属离子源; 气体源:C 、Pt; 机械手：有机械手 最大样品尺寸：2cm*2cm*5mm 设备附件：STEM 电子束产生模式：场发射 相关软件：Autoslice

有 Pt 和 C 两种源

最大样品尺寸：2cm*2cm*5mm

用于材料微纳结构的样品加工观察与制备。

面议