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聚焦离子束-电子束双束系统FIB Scios DualBeam ThermoFisher Scientific
设备型号:Scios 2
厂       家:ThermoFisher Scientific
所属地区:北京
  • 技术参数:

    1.电子束电流范围:1 pA - 400 nA; 2.电子束电压:200eV-30 keV,具有减速模式 3.电子束分辨率:0.7 nm (30 keV)、1.4 nm(1 keV) 4.大束流Sidewinder离子镜筒; 5.离子束加速电压500V-30kV(分辨率:3.0 nm); 6.离子束束流1.5pA-65nA,15孔光阑;

    功能特色:

    配置情况: 1.GIS气体注入:Pt沉积 2.Easylift纳米机械手(精度<500nm) 3.ETD SE、T1(筒内低位)、T(高位)探头 4.Nav-camTM:样品室内光学导航相机 5.AutoTEM4、Autoslice、Map for3D自动拼图、NanoBuilder纳米加工软件 适用样品: 半导体、金属、陶瓷材料截面加工及透射样品制备

    样品要求:

    1. 尺寸:110mm直径以内;普通样品托为直径12mm、35mm不等,厚度不超过80mm; 2. 导电:对于不能够导电的样品可以喷金、喷碳处理; 3.磁性: 电磁铁吸引不起来为准,块体磁性样尺寸不能超过1cm见方;磁性粉末要牢固粘好,在洗耳球下吹不掉   ;                                                                            

    应用领域:

    服务范围:

    收费标准:

    FEI Scios 2 DualBeam系统在Scios系统的基础上进行了升级,更加适用于金属、复合材料和涂层,特点是适用磁性样品、借助漂移抑制对不导电的样品可以进行操作、Trinity检测套件可同步检测材料、形态和边缘对比对度,大大提高效率、软件可以实现三维数据立方体分析金属中夹杂物大小和分布、独有的工作流模式,可以设定程序,降低操作员的难度。在超大样品仓中集成了大尺寸的五轴电动样品台;

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