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白光干涉三维表面轮廓仪 MicroXAM-3D
设备型号:Phase shift MicroXAM
厂       家: MicroXAM-3D
所属地区:天津
  • 技术参数:

    "垂直扫描范围:30 μm 、100μm、5mm、10mm 垂直扫描分辨率:0.01nm 分辨率:752×480像素(可选1k×1k ) 侧向分辨率:0.11-8.8 μm RMS重复精度:1nm 视场范围:8mm×10mm-0.084mm×0.063mm 校正精度:<<0.1% 反射要求:1%-100%"

    功能特色:

    粗糙度、磨损体积、3维形貌

    样品要求:

    应用领域:

    材料、半导体、机械制造领域

    服务范围:

    三维表面轮廓测量和粗糙度测量,台阶高度测量,磨痕的深度、宽度和体积定量测量,空间分析和表面纹理表征,平面度和曲率测量,二维薄膜应力测量,表面质量和缺陷检测等

    收费标准:

    (1)150元/样 (2)300元/小时"

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