"垂直分辨率：0.1nm 台阶高度重复性：＜0.54nm 精细模式测量高度范围：5 μm 大范围模式测量高度范围：5 μm XY方向扫描分辨率： 0.1 μm XY定位重现性： 0.2 μm 扫描速度：10-50 μm/sec "

台阶高度、粗糙度

材料、半导体、机械制造领域

传统的接触式表面轮廓仪和扫描探针显微镜(SPM) 完美的结合，允许产生扫描区高分辨的二维及三维图像(Z轴范围从nm级到mm级)。

面议