用途及功能： 主要用于各种固体材料表面（1～10nm）元素组成、化学价态等的定性和定量分析，结合离子刻蚀技术可获得元素及化学态深度分布信息，通过成像技术可获得元素及化学态的面分布信息，利用微聚焦X射线源或电子束可获得微区表面信息。主要功能是X射线光电子能谱，并附带俄歇电子能谱（AES）、反射电子能量损失谱（REELS）及离子散射谱（ISS）等功能。

服务内容: 金属、玻璃、高分子、半导体、纳米材料、生物材料以及催化材料等

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