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SiC单晶检测服务-产业服务
2021-03-30
阅读4794

服务产品简介

本服务着重解决企业在SiC单晶生产、外延生长、芯片加工中的原材料品控、单晶生长质量测试、科研项目验收过程中遇到的检测分析的需求。通过服务能够帮着客户一站式、全参数、低成本、高效率的实现产品的快速检测。同时对于高端的一些检测项目,平台也可以根据客户需求定制检测方法、标准和方案。具体服务内容包含:电阻率、参考面取向和位置、参考面长度、晶型确定、微管密度、结晶质量、六方空洞和裂纹、位错密度、多型及体杂质含量。

  产品优势

本产品专门针对SiC单晶进行开发的测试解决方案,具有一站式覆盖、全参数测量、低成本、高效率,能够满足客户对质量、交期、价格的综合要求,其他同行相对比较单一、服务周期长、价格成本高。另外通过测试评价能够给出系统的参数指标的优化和整改意见,平台SiC方面的专家资源优势可以帮助企业解决具体技术问题和指导工作。

  检测内容主要涉及分析

1)晶体完整性:微管密度、结晶质量、六方空洞和裂纹、位错密度、多型;

2)晶型:晶型确定;

3)杂质:体杂质含量;

4)电学测试:电阻率。

  细分价格表




等级

   市场价     

优惠价

SiC单晶检测解决方案A级

SiC单晶检测费12万

A级-10万

SiC单晶检测解决方案B级

SiC单晶检测费6万 

B级-5万

SiC单晶检测解决方案C级

SiC单晶检测费3.5万

B级-3万

定价依据:参照同行业市场服务价格

  主要客户

天科合达、中科钢研、世纪金光、天域半导体、中科晶电、北京航空航天大学、中科院物理所等共计30多家单位的50次检测。

  主要应用

应用于衬底生产、外延生长、芯片加工中的原材料品控、单晶生长质量测试等领域。利用众多单晶材料检测设备为企业提供完善的测试分析服务。

(1).光学表面分析仪是针对SiC单晶片与外延片行业的表面缺陷的检查分析仪器。

(2).平整度测试仪用来测试TTV、TIR、LTV、BOW、WARP等晶片面型参数。

(3).原子力显微镜用来测量样品表面的粗糙度。

(4).偏光显微镜用来测量样品表面缺陷。

(5).HORIBA公司的拉曼光谱仪用来绘制单晶材料晶型分布图。


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