高温原位纳米压痕仪

型号：美国KLA-Tencor

优势：

1.InForce 50驱动器，压头可加热，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头

2.样品可升温至800°C，采用10mm样品尺寸和真空兼容的样品安装系统

3.样品直径13-14mm，厚2mm 左右，上下表面水平，高度抛光

4.InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数

5.用于样本定位的XYZ移动系统

6.SEM视频捕获，可以将SEM图像和测试数据进行同步

7.独特的软件集成压头校准系统，可实现快速，准确的压头校准

8.与Windows®10兼容的InView控制和数据查看软件以及协助用户设计实验的方法开发功能

特点：

InSEM HT高温测试系统可在真空环境中对压头和样品分别独立进行加热，并与许多SEM/FIB工作室或独立真空工作室兼容。 系统温度可高达800°C，因而可以模拟现场极端温度条件，以获得可靠一致的测试数据。钼支架上的单晶碳化钨压头经过优化，可用于高温测试应用，并可提供多种几何形状。 

详细描述：

InSEM®HT（高温）通过在真空环境中分别独立加热压头和样品以测量高温下的硬度、模量和刚度。 InSEM HT与扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）工作室，或独立的真空工作室兼容。 配有的InView软件可帮助高级研究人员开发新的实验。科学出版文献表明，InSEM HT结果与传统的大规模高温测试数据匹配良好。测试温度范围宽以及拥有成本低的特点使InSEM HT成为材料开发研究计划中很有价值的设备。广泛应用于高温测试、硬度和模量测量（Oliver-Pharr）、连续刚度测量、高速材料性质分布、蠕变测量、应变率灵敏度等方向。在大学、研究实验室和研究所、航空航天、汽车制造业、硬涂层、核能、军事/国防等领域也发挥着重要作用。